Lợi ích của việc khắc khô bằng cách sử dụng nguồn điện xung?

Những lợi thế của chế độ xung so với chế độ năng lượng sóng liên tục là gì? Các chế độ công suất sóng liên tục so với các chế độ sóng liên tục là gì?

Như thể hiện trong hình trên, cái đầu tiên là CW, sóng liên tục. Sóng liên tục (CW) đề cập đến một dạng sóng liên tục và không đổi theo thời gian, với công suất và cường độ không đổi. Nó thường xuất hiện dưới dạng tín hiệu tần số đơn với phổ hẹp và đầu ra ổn định. Công suất trung bình của CW bằng với công suất cực đại và các đặc tính tín hiệu rất đơn giản và dễ kiểm soát. Ưu điểm chính của CW là độ ổn định cao của nó, điều này làm cho nó lý tưởng cho các ứng dụng trong đó tính liên tục tín hiệu là rất quan trọng. Đồng thời, tín hiệu CW có độ nhiễu thấp, tạo điều kiện cho phép đo và phân tích chính xác. Ngoài ra, thiết kế hệ thống CW tương đối đơn giản và các tham số điều khiển như công suất và tần số có thể dễ dàng được điều chỉnh. Trong chế độ CW, đầu ra công suất là một dạng sóng liên tục không có xung nhảm nhí.

0040-31980 hộp khí EC WXZ

Thứ hai là PW, công suất xung. Sóng xung là một dạng sóng bị gián đoạn theo thời gian và bao gồm một loạt các tín hiệu có cường độ cao trong một khoảng thời gian ngắn. Các xung có thời gian giới hạn và được lặp lại sau một khoảng thời gian nhất định. Sóng xung có các đặc tính của công suất cực đại tức thời cao hơn nhiều so với công suất trung bình và phổ đầu ra rộng và chứa nhiều thành phần tần số hơn. Ưu điểm lớn nhất của sóng xung là công suất cực đại cao tức thời của nó, có thể giải phóng năng lượng cực cao trong một khoảng thời gian ngắn. Ngoài ra, do đầu ra không liên tục của tín hiệu, công suất trung bình của sóng xung thấp, giúp giảm hiệu quả áp suất tải nhiệt của thiết bị. Do đó, nó là lý tưởng cho các ứng dụng yêu cầu độ phân giải thời gian cao hoặc công suất cao tức thời. Trong chế độ PW, công suất đầu ra của nguồn cung cấp là một phần thời gian và một phần thời gian.

0040-09095 hộp khí, WCVD
Các tính năng của nguồn cung cấp năng lượng xung?
1, công việc khoảng thời gian có thể làm tiêu tan nhiệt theo thời gian, để các chất phản ứng có thể có thời gian để vận chuyển lên bề mặt của wafer.

2, công suất đầu ra có thể được tăng lên một mức độ rất lớn, thời lượng cực kỳ ngắn và công suất xung, tần số, thời gian, v.v. có thể được kiểm soát rất chính xác.
Lợi ích của việc sử dụng chế độ xung?
1, loại bỏ hiệu ứng microload. Trong khắc cấu trúc với tỷ lệ khung hình cao, chẳng hạn như lỗ sâu hoặc các rãnh sâu. Các lỗ hoặc khe có kích thước nhỏ hơn có tốc độ khắc nhỏ hơn các lỗ hoặc khe có kích thước lớn hơn. Nếu chế độ CW được sử dụng, hiệu ứng microload có thể được cải thiện bằng cách giảm áp suất và tăng điện áp sai lệch, nhưng khả năng cải thiện bị hạn chế, trong khi hiệu ứng microload có thể được cải thiện rất nhiều bằng cách sử dụng chế độ xung.

2, giảm thiệt hại bề mặt wafer. Nếu các xung được sử dụng trên nguồn cung cấp thiên vị, thời gian cần thiết để tấn công wafer có thể giảm, từ đó làm giảm thiệt hại bề mặt.