Đầu vòi hoa sen của PECVD có tác dụng gì?

0020-30797 Đầu vòi hoa sen dạng tấm đục lỗ

0021-35869 ĐẦU TẮM

 

Đầu vòi hoa sen làm gì trong quy trình PECVD?

Như hình trên, Sen vòi hay còn được dịch là đầu phun nước, vòi hoa sen, v.v., thường vừa khít với phần trên của vùng phản ứng và đóng vai trò như một đầu dẫn khí vào, phun đều khí phản ứng vào buồng qua các lỗ nhỏ trên bề mặt của nó. Tất nhiên, nó không chỉ có chức năng phân phối khí, một số còn được thiết kế để sử dụng như một phần của điện cực.
Chức năng của Đầu vòi hoa sen?

Bề mặt của đầu vòi hoa sen được bao phủ bởi các lỗ chân lông dày đặc, sau khi khí phản ứng chảy vào, nó được chia đều thành nhiều phần và chuyển lên đỉnh của tấm wafer với tốc độ dòng chảy ổn định, sao cho khí phản ứng bao phủ đều toàn bộ bề mặt wafer để tạo ra một lớp phủ đồng đều hơn. Khi Đầu sen là một phần của điện cực, nguồn điện RF sẽ tạo ra một điện trường đồng nhất trên bề mặt của nó, có khả năng tạo thành plasma đồng nhất.

Kim loại nào thường được sử dụng để làm vòi hoa sen?

Phổ biến nhất là nhôm, có tính dẫn nhiệt cao và khả năng chống ăn mòn. Thạch anh hoặc gốm sứ cũng có thể được sử dụng để làm vòi sen.