Băng tải chân không trước (Loadlock) và Thân chính của Nền tảng chuyển tải

Băng tải chân không trước là buồng chuyển cho khí quyển và chân không, được sử dụng để cách ly buồng phản ứng khỏi tiếp xúc trực tiếp với khí quyển bên ngoài, để đảm bảo độ sạch của buồng phản ứng và giảm khả năng nhiễm bẩn của buồng phản ứng. Khi mô-đun đầu cuối cần nhấc và đặt wafer vào băng tải chân không trước, cần phải nạp nitơ vào, áp suất không khí trong khoang được điều chỉnh theo trạng thái khí quyển, sau đó van truyền của băng tải chân không trước ở bên cạnh mô-đun đầu cuối được mở để nhấc và đặt wafer; Khi nhấc và đặt wafer từ buồng chuyển (một phần của bệ chuyển) vào thân chuyển chân không trước, cần sử dụng bơm chân không để bơm khí trong thân chuyển chân không trước, điều chỉnh đến trạng thái chân không, sau đó mở van chuyển ở phía bên kia của thân chuyển chân không trước, sau đó tiến hành nhấc và đặt wafer.

Các bước cụ thể để vận chuyển wafer trong hệ thống chuyển như sau: tất cả các cửa đều đóng → cổng nạp wafer được mở, cửa của băng wafer được mở → bộ điều khiển khí quyển lấy wafer từ thuyền wafer của băng cassette → wafer được đặt trên bộ căn chỉnh → vị trí wafer được hiệu chuẩn → khí nitơ được nạp vào LoadLockA → cửa LoadLockA được mở → bộ điều khiển khí quyển đặt wafer vào LoadLockA → đóng cửa LoadLockA → LoadLockA tạo chân không → mở cửa buồng phản ứng → Bộ điều khiển rỗng đặt wafer vào buồng phản ứng → phản ứng diễn ra → sau khi phản ứng hoàn tất, buồng phản ứng được hút chân không → cửa buồng chuyển được mở → bộ điều khiển chân không di chuyển wafer đến buồng chuyển → đóng cửa buồng phản ứng → mở cửa LoadLockB, → chân không bộ điều khiển di chuyển wafer đến LoadLockB → đóng cửa LoadLockB → LoadLockB chứa đầy nitơ → mở cửa LoadLockB → bộ điều khiển khí quyển di chuyển wafer ra khỏi LoadLockB → đóng LoadLockB