Plasma tần số vô tuyến (RF Plasma)

Tính chất cơ bản của plasma

Từ quan điểm vật lý, định nghĩa về "plasma" là:

Một loại khí trung hòa về điện, có độ ion hóa cao bao gồm các ion, electron và các hạt trung tính. Đó là một trạng thái của vật chất được coi là khác với chất rắn, chất lỏng và chất khí thông thường.

Trạng thái của vật chất trong đó một số hoặc tất cả các electron bị tách khỏi nguyên tử mẹ của chúng. Các electron mang điện tích âm và các ion mang điện tích dương chuyển động độc lập. Plasma thường gắn liền với nhiệt độ cực cao. Ví dụ, phần lớn mặt trời được tạo thành từ plasma.

Plasma là một loại khí mật độ thấp bao gồm các electron, ion dương và các hạt trung tính và hiệu suất tổng thể là trung hòa về điện, được coi là trạng thái thứ tư của vật chất. Nói một cách chính xác, hầu hết mọi chất khí trong không gian đều có thể được gọi là "plasma", mặc dù chỉ một phần nhỏ nguyên tử bị ion hóa khi nhiệt độ xuống dưới khoảng 726,85 độ. Mật độ rất thấp trong không gian cho phép các electron di chuyển mà không gặp nhiều trở ngại, do đó không gian gần như là một chất dẫn điện hoàn hảo. Mặc dù các điện tích có thể chuyển động tự do, nhưng nhìn chung, plasma vũ trụ luôn ở trạng thái trung hòa, ngay cả với một thể tích rất nhỏ (chẳng hạn một triệu km). Plasma trong không gian bị từ trường thấm vào.

0040-09963 BỆNH, PHẲNG 150MM, IS,NI LIFT2,HVCEN

Huyết tương xảy ra như thế nào

Plasma có tần số kích thích 40 kHz là plasma siêu âm: một phản ứng vật lý;

Plasma có tần số kích thích 13,56 MHz là plasma tần số vô tuyến: phản ứng vật lý + phản ứng hóa học;

Plasma có tần số kích thích 2,45 GHz là plasma vi sóng: một phản ứng hóa học.

 

Năng lượng RF (Tần số vô tuyến) được sử dụng rộng rãi trong sản xuất plasma, đặc biệt là trong các ứng dụng như sản xuất chất bán dẫn, xử lý bề mặt và khắc plasma. Đây là lời giải thích đơn giản về cách năng lượng RF tạo ra plasma:

Máy phát RF: Quá trình bắt đầu với một máy phát RF, tạo ra nguồn điện xoay chiều (AC) tần số cao.

Điện cực: Nguồn RF này được cung cấp cho điện cực bên trong buồng chân không. Cấu hình của các điện cực này có thể khác nhau, nhưng thông thường một điện cực được cấp điện (kết nối với máy phát RF) và điện cực kia được nối đất.

Điện trường: Việc ứng dụng nguồn RF tạo ra một điện trường dao động giữa các điện cực. Khi điện áp tăng thì cường độ điện trường cũng tăng.

Ion hóa: Với sự có mặt của các loại khí như argon, oxy hoặc nitơ trong buồng, một điện trường mạnh sẽ ion hóa các phân tử khí. Các electron trong nguyên tử khí thu đủ năng lượng để thoát khỏi quỹ đạo nguyên tử của chúng, dẫn đến việc tạo ra các ion và electron tự do.

Va chạm và kích thích: Các electron tự do nhận được động năng từ điện trường và di chuyển nhanh chóng trong chất khí. Những electron này va chạm với các nguyên tử khí khác để ion hóa chúng hơn nữa và tạo ra nhiều electron và ion tự do hơn trong phản ứng dây chuyền. Quá trình này được gọi là ion hóa va chạm.

Sự hình thành plasma: Khi quá trình này tiếp tục, mật độ của các ion và electron tăng lên, dẫn đến sự hình thành plasma – một nhóm các hạt tích điện thường trung hòa về điện nhưng có khả năng phản ứng cao.

Bảo trì plasma: Cần cung cấp năng lượng RF liên tục để duy trì điện trường, duy trì quá trình ion hóa và giữ trạng thái plasma ổn định. Tần số và mức công suất của tín hiệu RF có thể được điều chỉnh để kiểm soát các đặc tính của plasma.