Các yếu tố ảnh hưởng đến căng thẳng phim trong PECVD

Các yếu tố ảnh hưởng đến sự căng thẳng của màng PECVD là gì? Những ưu điểm và nhược điểm của mỗi người là gì?

Lấy SIH 4+ NH3/N2 để tạo thành màng mỏng sinx và SIH 4+ NH 3+ NO2 để tạo ra các màng mỏng sion, tôi đã tóm tắt một vài điểm ở đây, không giới hạn ở đây Những yếu tố này: nhiệt độ, công suất/áp suất, thành phần khí, tần số và hàm lượng của khí pha loãng HE.

Nhiệt độ (phim SINX)

Nhiệt độ càng cao, ứng suất kéo càng lớn.

0010-37264 buồng thời gian ông lửng đa khe

Sức mạnh/áp lực (phim SINX)

Như thể hiện trong hình trên, ở áp suất thấp hơn (400 mtorr), các ứng suất ở tất cả các điều kiện năng lượng đều sai lệch đối với ứng suất nén; Khi áp suất tăng, ứng suất nén dần thay đổi theo ứng suất kéo; Ở áp lực cao hơn (600-700 mTorr), các ứng suất có xu hướng căng thẳng kéo. Áp lực dương và âm trong sơ đồ đại diện cho ứng suất kéo và kéo, tương ứng. Các loại và tỷ lệ của khí (phim Sion)

Như thể hiện trong hình trên, khi tỷ lệ N2O/NH3 tăng lên, màng dần thay đổi từ ứng suất kéo sang ứng suất nén. Điều chế tần số thấp (phim SINX)

0040-22451 Thời gian hồi chiêu 150mm, tiếp xúc 3 điểm

Như thể hiện trong hình trên, ứng suất của màng dần dần thay đổi từ ứng suất kéo sang ứng suất nén khi tỷ lệ thời gian dành cho đầu ra của nguồn điện ở tần số thấp tăng lên. Nội dung của khí pha loãng anh ấy

Như thể hiện trong hình trên, khi tỷ lệ khí pha loãng, anh tăng dần, sự căng thẳng của màng dần thay đổi từ ứng suất kéo sang ứng suất nén. Do đó, việc điều chỉnh quá trình phim thường cần được điều chỉnh theo giá trị tối ưu và bất kỳ tham số quy trình nào quá lớn hoặc quá nhỏ sẽ gây ra chất lượng phim không hoàn hảo.

 

KẾT THÚC